“顶天立地”做科研

——记中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士

据新华社上海8月26日电 穿上净化服、戴上口罩、经过强风的“风淋”后，记者走进了上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室。

展现在眼前的是一个摆满了高科技仪器设备的洁净世界，许多穿着净化服、戴着口罩的科研人员，在不同的机器之间穿梭忙碌。

这里是我国最先进的高端硅基集成电路晶圆片材料SOI研发平台，也是中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士为之奋斗十多年的地方。

早在20世纪80年代初，中科院就已经开始SOI技术研究。1998年，王曦放弃国外优越生活，毅然回国挑起了中科院SOI项目的“大梁”。

“离子注入”是王曦钻研多年的SOI材料制备中的关键技术。回国后，王曦成功地利用创新技术完成了SOI材料技术工程化研究，建立了生产线。

创建公司、将SOI材料产业化是王曦人生中第二个重要选择。2001年，在国家有关部委和中科院领导的支持下，王曦带领SOI项目组骨干创建了上海新傲科技有限公司，从“科学家”转型为“企业家”。

2002年，中国第一批商业化生产的SOI圆片问世，这让美国硅谷惊呆了。

2006年，王曦负责的“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目荣获国家科技进步奖一等奖，在关键技术上取得一系列重大创新，申请国家发明专利32项，并已获授权16项。

经过十多年创业，目前新傲公司已成为我国国内唯一、国际屈指可数的SOI生产基地，总资产已超过3亿元。